A hagyományos ipari berendezések tisztítására különféle tisztítási módszerek léteznek, amelyek többsége vegyi és mechanikai módszer. Összehasonlítva a hagyományos tisztítási módszerekkel, mint például a mechanikus súrlódásos tisztítás, a kémiai korróziós tisztítás, a folyékony és szilárd anyagok erős ütési tisztítása, a nagyfrekvenciás ultrahangos tisztítás és így tovább, a lézeres tisztítógép jellemzői: nincs csiszolás, érintésmentes, alacsony hőhatás és alkalmas különféle anyagokból készült tárgyakhoz, és a legmegbízhatóbb és leghatékonyabb megoldásnak tekinthető.
A tárgy felületén található rögzítés összetett összetétele és szerkezete miatt a lézeres tisztítógép mechanizmusa is eltérő. Ennek magyarázatára a leggyakrabban használt elméleti modellek a következők:
1. A lézer által generált lézer az optikai rendszer fókuszálásával nagy energiakoncentrációt tud elérni. A fókuszált lézersugár több ezer fokos vagy akár több tízezer fokos magas hőmérsékletet is képes előállítani a fókusz közelében, így a tárgy felületén lévő rögzítés azonnal elpárolog vagy lebomlik.
2. A tárgy felületén lévő rögzítés a lézer hatására felmelegszik és kitágul. Ha a rögzítésnek a tárgy felületére ható tágulási ereje nagyobb, mint a rögzítés és a hordozó közötti adszorpciós erő, a tárgy felületén lévő rögzítés leválik a tárgy felületéről.
3. Magasabb frekvenciájú és teljesítményű impulzuslézert használnak a tárgy felületének ütközésére, hogy ultrahanghullámot generáljanak a tárgy felületén. Az ultrahanghullám a középső és alsó réteg kemény felületének ütközése után visszatér, és megzavarja a beeső akusztikus hullámot, így nagy energiájú rezonanciahullámot generál, aminek következtében a szennyeződés felrobban, összetörik és elválik a hordozó felületétől. Ha a tárgy abszorpciós együtthatója és a lézersugárhoz való felületi rögzítés nem különbözik, vagy ha a felületi rögzítés melegítés után mérgező anyagokat termel, akkor ez a tisztítási módszer használható.
Jelenleg nincs egységes szabvány a lézeres tisztítógép szerkezetére, amelyet a tényleges tisztítási módszer, az aljzat és a szennyeződés típusa, a tisztítási követelmények hatása és egyéb tényezők szerint kell meghatározni. Néhány alapvető struktúrában azonban alapvetően megegyeznek, főként a lézeres, mobilplatformos, valós idejű felügyeleti rendszerben, a félautomata vezérlő operációs rendszerben és más segédrendszerekben.
